Разработка методов неразрушающего определения и картирования дефектов прецизионных поверхностей материалов с использованием методов и средств зондовой электрометрии

Abstract

Объектом исследования являлись электрометрические методы контроля деталей микро- и нанотехники, сенсорной техники, современной лазерной оптики и других изделий, которые могут быть отнесены к классу изделий с прецизионными поверхностями. Целью исследования являлась разработка новых методов неразрушающего контроля прецизионных поверхностей высшего класса чистоты, обеспечивающих визуализацию пространственного распределения (картирование) дефектов различного вида, в том числе дефектов, недоступных существующим методами неразрушающего контроля (зон механических напряжений, дислокаций, неоднородностей химического состава поверхности). В результате проведенных исследований разработаны математические модели картирования дефектов прецизионных поверхностей вибрирующим и невибрирующим электрометрическим зондом. На основе результатов теоретического и натурного моделирования обоснованы основные операции методики определения и картирования дефектов прецизионных поверхностей высшего класса чистоты с использованием методов и средств зондовой электрометрии. Экспериментально подтверждена эффективность предлагаемой методики при картировании прецизионных поверхностей металлов, в том числе модифицированных с применением элементов нанотехнологий.