Разработка методов бесконтактного неразрушающего картирования наноразмерных дефектов макроскопических поверхностей с использованием быстродействующего сканирующего зонда Кельвина

Abstract

Объектом исследования являлись методы и методики выполнения измерений и обработки измерительного сигнала при экспрессном контроле наноразмерных дефектов макроскопических поверхностей с использованием быстродействующего сканирующего зонда Кельвина. Целью исследования являлось создание новых методов бесконтактного неразрушающего картирования наноразмерных дефектов поверхности, отличающихся высокой обнаружительной способностью (малым характерным размером выявляемых дефектов) при больших (макроскопических) размерах контролируемой поверхности. В результате проведенных исследований разработаны основные положения методики выполнения измерений при экспрессном контроле наноразмерных дефектов макроскопических поверхностей с использованием быстродействующего сканирующего зонда Кельвина. Разработаны алгоритмы цифровой обработки измерительного сигнала сканирующего зонда Кельвина, обеспечивающие равно эффективное подавление как выбросов, так и шумовой составляющей сигнала, и реализующее их прикладное программное обеспечение. Выполнено экспериментальное исследование закономерностей формирования измерительного сигнала быстродействующего сканирующего зонда Кельвина при взаимодействии с наноразмерными дефектами макроскопических поверхностей.