Лазерная обработка кремния для изготовления газовых сенсоров
| dc.contributor.author | Антонов, М. С. | ru |
| dc.contributor.author | Реутская, О. Г. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2024-05-27T11:09:15Z | |
| dc.date.available | 2024-05-27T11:09:15Z | |
| dc.date.issued | 2024 | |
| dc.identifier.citation | Антонов, М. С. Лазерная обработка кремния для изготовления газовых сенсоров / М. С. Антонов, О. Г. Реутская // Новые направления развития приборостроения : материалы 17-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17-19 апреля 2024 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2024. – С. 109. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/143392 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Лазерная обработка кремния для изготовления газовых сенсоров | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
