Наноструктурирование поверхности кремниевых пластин низкоэнергетической водородной плазмой
| dc.contributor.advisor | Федотов, А. К. | ru |
| dc.contributor.advisor | Дроздов, Н. А. | ru |
| dc.contributor.author | Зинчук, О. В. | ru |
| dc.contributor.author | Тиванов, М. С. | ru |
| dc.contributor.author | Чигирь, С. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2024-05-16T13:02:19Z | |
| dc.date.available | 2024-05-16T13:02:19Z | |
| dc.date.issued | 2003 | |
| dc.identifier.citation | Зинчук, О. В. Наноструктурирование поверхности кремниевых пластин низкоэнергетической водородной плазмой / О. В. Зинчук, М. С. Тиванов, С. В. Чигирь ; науч. рук.: А. К. Федотов, Н. А. Дроздов // НИРС-2003 : VIII республиканская научно-техническая конференция студентов и аспирантов, 9-10 декабря 2003 г., г. Минск : тезисы докладов : в 7 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев [и др.]. — Минск : БНТУ, 2003. – Ч. 2 : Энергетика. Приборостроение. Физика. – С. 183-184. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/143036 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Наноструктурирование поверхности кремниевых пластин низкоэнергетической водородной плазмой | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
