Кремний монокристаллига рух ва олтингугурт элементларини диффузия усули ёрдамида бир вақтда легирлаш технологияси
| dc.contributor.author | Зикриллаев, Н. Ф. | ru |
| dc.contributor.author | Валиев, С. А. | ru |
| dc.contributor.author | Ҳаққулов, М. К. | ru |
| dc.contributor.author | Шакаров, Ф. Қ. | ru |
| dc.contributor.author | Маҳмудов, С. Й. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2024-04-23T07:21:28Z | |
| dc.date.available | 2024-04-23T07:21:28Z | |
| dc.date.issued | 2022 | |
| dc.identifier.citation | Кремний монокристаллига рух ва олтингугурт элементларини диффузия усули ёрдамида бир вақтда легирлаш технологияси / Н. Ф. Зикриллаев [и др.] // Научные основы использования информационных технологий нового уровня и современные проблемы автоматизации : сборник трудов I Международной научной конференции, 25-26 апреля 2022 года / Ташкентский государственный технический университет имени Ислама Каримова ; Белорусский национальный технический университет ; Белорусско-узбекский совместный межотраслевой институт прикладных технических квалификаций в городе Ташкент ; Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при национальном университете Узбекистана имени Мирзо Улугбека ; ред. А. М. Хусейнов. – Ташкент : Университет, 2022. – С. 382-384. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/142087 | |
| dc.language.iso | uz | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Кремний монокристаллига рух ва олтингугурт элементларини диффузия усули ёрдамида бир вақтда легирлаш технологияси | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
