| dc.identifier.citation | Эгамбердиев, Б. Э. Влияние отжига на кристаллическую структуру поверхности кремния, легированного ионами CO / Б. Э. Эгамбердиев, Ф. М. Исроилов, Н. М. Рахимова // Научные основы использования информационных технологий нового уровня и современные проблемы автоматизации : сборник трудов I Международной научной конференции, 25-26 апреля 2022 года / Ташкентский государственный технический университет имени Ислама Каримова ; Белорусский национальный технический университет ; Белорусско-узбекский совместный межотраслевой институт прикладных технических квалификаций в городе Ташкент ; Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при национальном университете Узбекистана имени Мирзо Улугбека ; ред. А. М. Хусейнов. – Ташкент : Университет, 2022. – С. 375-379. | ru |
