Гурский, Н. Н. Автоматизация технологического процесса отжига кремниевых пластин / Н. Н. Гурский // Инновационные технологии, автоматизация и мехатроника в машино- и приборостроении [Электронный ресурс] : материалы VIII международной научно-практической конференции (Минск, 19 марта 2020 года) : в рамках выставки «Автоматизация, электроника – 2020» / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ...