Browsing 2012 by Author "Бабаскина, С. Ю."
Now showing items 1-1 of 1
-
Влияние технологических параметров процесса алмазной механической обработки (полирования) кремниевых пластин (О 100 мм) на производительность процесса и качество пластин
Якубовская, С. В.; Бабаскина, С. Ю.; Корбит, А. А.; Олехнович, О. Н. (Бизнесофсет, 2012)Влияние технологических параметров процесса алмазной механической обработки (полирования) кремниевых пластин (О 100 мм) на производительность процесса и качество пластин / С. В. Якубовская [и др.] // Инновационные технологии, автоматизация и мехатроника в машино- и приборостроении : материалы международной научно-практической конференции; Минск, 11 апреля 2012 года. - Минск : ...2013-01-24