| dc.contributor.author | Петухов, И. Б. | ru |
| dc.contributor.author | Ретюхин, Г. Е. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2023-12-21T07:32:22Z | |
| dc.date.available | 2023-12-21T07:32:22Z | |
| dc.date.issued | 2023 | |
| dc.identifier.citation | Петухов, И. Б. Прецизионное лазерное разделение структур на пластинах сапфира = Precision laser separation of structures onto leucosapphire wafers / И. Б. Петухов, Г. Е. Ретюхин // Приборостроение-2023 : материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15-17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 362-363. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/138574 | |
| dc.description.abstract | Проведены исследования и подбор технологических режимов лазерного скрайбирования пластин сапфира толщиной 100 мкм с использованием импульсного волоконного наносекундного лазера с длиной волны 355 нм и средней мощностью излучения 3 Вт и частотой следования импульсов 300 кГц для создания изделий электроники. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Прецизионное лазерное разделение структур на пластинах сапфира | ru |
| dc.title.alternative | Precision laser separation of structures onto leucosapphire wafers | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| local.description.annotation | Studies and selection of technological modes of laser scribing of sapphire plates with a thickness of 100 microns using a pulsed fiber nanosecond laser with a wavelength of 355 nm and an average radiation power of 3 W and a pulse repetition frequency of 300 kHz for the creation of electronics products have been carried out. | ru |
