| dc.identifier.citation | Нестерчик, Р. И. Влияние импульсного питания магнетрона на ионный ток подложки / Р. И. Нестерчик, Ван Ту Ань Нгуен, Динь Ньат Хань Чан ; науч. рук. С. М. Завадский // Интеллектуальные, сенсорные и мехатронные системы-2023 [Электронный ресурс] : сборник научных трудов (по материалам студенческих научно-технических конференций) / Белорусский национальный технический университет, Кафедра «Интеллектуальные и мехатронные системы» ; редкол.: В. М. Зайцев, В. А. Гулай, А. В. Дубовик ; сост. Е. А. Богданова. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 15-16. | ru |
