Влияние пространственного распределения плотности плазменного потока холловского испарителя на формирование толщины и микрогеометрии поверхности вакуумно-плазменных конденсатов
| dc.contributor.author | Иванов, И. А. | ru |
| dc.contributor.author | Фролов, И. С. | ru |
| dc.contributor.author | Мрочек, Ж. А. | ru |
| dc.contributor.author | Иващенко, С. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2023-05-26T12:29:54Z | |
| dc.date.available | 2023-05-26T12:29:54Z | |
| dc.date.issued | 2003 | |
| dc.identifier.citation | Влияние пространственного распределения плотности плазменного потока холловского испарителя на формирование толщины и микрогеометрии поверхности вакуумно-плазменных конденсатов / И. А. Иванов [и др.] // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: И. П. Филонов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : Технопринт, 2003. – Вып. 19. – С. 83-90. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/129389 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Технопринт | ru |
| dc.title | Влияние пространственного распределения плотности плазменного потока холловского испарителя на формирование толщины и микрогеометрии поверхности вакуумно-плазменных конденсатов | ru |
| dc.type | Article | ru |
