Browsing Выпуск 19 by Author "Сергейченко, А. В."
Now showing items 1-1 of 1
-
Микропрофилирование кремния при создании сенсорных микросистем
Колешко, В. М.; Сергейченко, А. В. (Технопринт, 2003)Колешко, В. М. Микропрофилирование кремния при создании сенсорных микросистем / В. М. Колешко, А. В. Сергейченко // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: И. П. Филонов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : Технопринт, 2003. – Вып. 19. – С. 679-689.2023-05-26