Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Пилипенко, В. А."
Now showing items 1-1 of 1
-
Характеризация технологических процессов получения туннельного окисла с использованием методов сканирующей зондовой электрометрии
Жарин, А. Л.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л.; Гусев, О. К.; Воробей, Р. И.; Пантелеев, К. В. (БНТУ, 2022)Рассмотрено применение установки фотостимулированной сканирующей зондовой электрометрии для выявления дефектов ионно-легированных и диффузионных слоев полупроводниковой пластины после операции туннельного окисления, выполненной в различных технологических режимах. Измерения в двух режимах (измерения контактной разности потенциалов и визуализации длины диффузии неравновесных ...2022-12-28