Технико-технологические требования к нанооборудованию
| dc.contributor.author | Дорошенко, С. С. | ru |
| dc.contributor.author | Лешкевич, А. Ю. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-12-13T07:56:49Z | |
| dc.date.available | 2022-12-13T07:56:49Z | |
| dc.date.issued | 2022 | |
| dc.identifier.citation | Дорошенко, С. С. Технико-технологические требования к нанооборудованию / С. С. Дорошенко, А. Ю. Лешкевич // НИРС-2022 [Электронный ресурс] : материалы 78-й научно-практической конференции студентов / редкол.: А. С. Поварехо [и др.] ; под общ. ред. А. С. Поварехо ; сост. А. С. Поварехо. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 370-371. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/123667 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Технико-технологические требования к нанооборудованию | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
