Схема измерения параметров коронного разряда в методике неразрушающего контроля полупроводниковых структур
| dc.contributor.author | Меркулов, А. В. | ru |
| dc.contributor.author | Тявловский, А. К. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-10-24T11:18:48Z | |
| dc.date.available | 2022-10-24T11:18:48Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Меркулов, А. В. Схема измерения параметров коронного разряда в методике неразрушающего контроля полупроводниковых структур / А. В. Меркулов, А. К. Тявловский // Новые направления развития приборостроения : материалы 6-й Международной студенческой научно-технической конференции, 24-26 апреля 2013 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 39. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/121527 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Схема измерения параметров коронного разряда в методике неразрушающего контроля полупроводниковых структур | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
