Низкотемпературный синтез топких пленок карбида кремния
| dc.contributor.author | Кругленя, И. А. | ru |
| dc.contributor.author | Ковалевская, А. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-10-24T11:18:29Z | |
| dc.date.available | 2022-10-24T11:18:29Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Кругленя, И. А. Низкотемпературный синтез топких пленок карбида кремния / И. А. Кругленя, А. В. Ковалевская // Новые направления развития приборостроения : материалы 6-й Международной студенческой научно-технической конференции, 24-26 апреля 2013 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 139. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/121268 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Низкотемпературный синтез топких пленок карбида кремния | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
