Browsing 2009 by Author "Черных, А. Г."
Now showing items 1-2 of 2
-
Применение HIGH-K диэлектриков при формировании КМОП ИС
Муха, Е. В.; Черных, А. Г. (БНТУ, 2009)Муха, Е. В. Применение HIGH-K диэлектриков при формировании КМОП ИС / Е. В. Муха, А. Г. Черных // Новые направления развития приборостроения : материалы 2-й Международной студенческой научно-технической конференции (22-24 апреля 2009 г.) / редкол.: В. Л. Соломахо [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 172.2022-10-26 -
Селективное осаждение плёнок меди в металлизации ИС
Овсяник, А. А.; Черных, А. Г. (БНТУ, 2009)Овсяник, А. А. Селективное осаждение плёнок меди в металлизации ИС / А. А. Овсяник, А. Г. Черных // Новые направления развития приборостроения : материалы 2-й Международной студенческой научно-технической конференции (22-24 апреля 2009 г.) / редкол.: В. Л. Соломахо [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 173.2022-10-26