Show simple item record

dc.contributor.authorФилиппов, А. А.ru
dc.contributor.authorСычик, В. А.ru
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2022-09-22T07:30:53Z
dc.date.available2022-09-22T07:30:53Z
dc.date.issued2012
dc.identifier.citationФилиппов, А. А. Технология формирования плёнок SiO2 термическим окислением / А. А. Филиппов, В. А. Сычик // Новые направления развития приборостроения : материалы 5-й Международной студенческой научно-технической конференции, 18-20 апреля 2012 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 188.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/119522
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.titleТехнология формирования плёнок SiO2 термическим окислениемru
dc.typeWorking Paperru


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record