| dc.identifier.citation | Нестерчик, Р. И. Влияние частоты импульсного питания на разрядные характеристики магнетронных распылительных систем / Р. И. Нестерчик ; науч. рук. С. М. Завадский // Интеллектуальные, сенсорные и мехатронные системы-2022 [Электронный ресурс] : сборник научных трудов (по материалам студенческих научно-технических конференций) / Белорусский национальный технический университет, Кафедра «Интеллектуальные и мехатронные системы» ; редкол.: В. М. Зайцев, В. А. Гулай, А. В. Дубовик ; сост. Е. А. Богданова. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 20-21. | ru |
