Коэффициент использования мишени при магнетронном распылении
| dc.contributor.advisor | Комаровская, В. М. | ru |
| dc.contributor.author | Щаврук, А. А. | ru |
| dc.contributor.author | Мацкевич, Э. П. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-03-15T11:14:55Z | |
| dc.date.available | 2022-03-15T11:14:55Z | |
| dc.date.issued | 2021 | |
| dc.identifier.citation | Щаврук, А. А. Коэффициент использования мишени при магнетронном распылении / А. А. Щаврук, Э. П. Мацкевич ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов (25-26 ноября 2021 г.) / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 355-356. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/110380 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Коэффициент использования мишени при магнетронном распылении | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
