Принцип действия планетарной оснастки для магнетронного распыления
| dc.contributor.advisor | Комаровская, В. М. | ru |
| dc.contributor.author | Погадаев, В. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-03-15T11:14:52Z | |
| dc.date.available | 2022-03-15T11:14:52Z | |
| dc.date.issued | 2021 | |
| dc.identifier.citation | Погадаев, В. А. Принцип действия планетарной оснастки для магнетронного распыления / В. А. Погадаев ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов (25-26 ноября 2021 г.) / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 297-299. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/110350 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Принцип действия планетарной оснастки для магнетронного распыления | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
