Show simple item record

dc.contributor.authorБринкевич, Д. И.ru
dc.contributor.authorПросолович, В. С.ru
dc.contributor.authorЧерный, В. В.ru
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2022-02-02T08:10:10Z
dc.date.available2022-02-02T08:10:10Z
dc.date.issued2021
dc.identifier.citationБринкевич, Д. И. Особенности имплантации ионов Р+, В+ И Sb+ в пленки позитивного фоторезиста ФП9120 на кремнии = Features of implantation of Р+, В+ AND Sb+ ions into films of FP9120 positive photoresist on silicon / Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, В. В. Черный // Приборостроение-2021 : материалы 14-й Международной научно-технической конференции, 17-19 ноября 2021 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 258-260.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/109526
dc.description.abstractМетодом ИК-Фурье спектроскопии нарушенного полного внутреннего отражения (НПВО) исследованы пленки диазохинон-новолачного фоторезиста ФП9120 толщиной 1,8–5,0 мкм, имплантиро- ванные ионами B+, Р+ и Sb+ c энергией 60 кэВ в интервале доз 5*10^14–6*10^17 cм-2. Рассмотрены различные механизмы радиационно-индуцированной модификации структурных и оптических свойств пленок ДХН-резистов за областью пробега ионов, обусловленные электронным и ядерным механизмами торможения ионов.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.titleОсобенности имплантации ионов Р+, В+ И Sb+ в пленки позитивного фоторезиста ФП9120 на кремнииru
dc.title.alternativeFeatures of implantation of Р+, В+ AND Sb+ ions into films of FP9120 positive photoresist on siliconru
dc.typeWorking Paperru
local.description.annotationDiazoquinone-novolac photoresist films with 1,8–5,0 μm thick, implanted with B+, P+, and Sb+ ions with an energy of 60 keV in the dose range 5*10^14–6* 10^17 cm-2 were investigated. Various mechanisms of radiation- induced modification of the structural and optical properties of resist films beyond the ion path region, caused by the electronic and nuclear mechanisms of ion inhibition, were considered.ru


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record