Чувствительные элементы мультисенсорных микросистем применяют для измерения выходного сигнала сенсора. Конструктивные особенности составных частей сенсоров определяют рабочие диапазоны устройств на их основе. Исследование форм «полоска» и «меандр» нагревателей позволило установить влияние компонентов конструкции на измеряемый сигнал. Определены режимы работы, позволяющие снизить ...