Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Манего, С. А."
Now showing items 1-1 of 1
-
Исследование влияния физико-технологических факторов на структурное совершенство приповерхностных слоев InP
Манего, С. А. (БНТУ, 2021)Исследовано влияние физико-технологических факторов на структурное совершенство приповерхностных слоев подложек фосфида индия. Анализ влияния предэпитаксиального процесса подготовки подложек InP проводился методом дифракции быстрых электронов на отражения и по измерению интегральной интенсивности длинноволновой полосы (1,08 эВ) и коротковолновой полосы (1,41 эВ) люминесценции. ...2022-02-02