Browsing Приборостроение-2021 by Author "Малевич, В. Л."
Now showing items 1-1 of 1
-
Лазерно-индуцированные теплофизические процессы в эпитаксиальных германий-кремниевых гетероструктурах
Гацкевич, Е. И.; Ивлев, Г. Д.; Малевич, В. Л. (БНТУ, 2021)Изучено перераспределении элементов по глубине в эпитаксиальных GeSi слоях при облучении наносекундными импульсами рубинового лазера. Проанализировано влияние сегрегации на формирование ячеистых структур в неравновесных условиях импульсного воздействия.2022-02-02