Методами атомно-силовой микроскопии и наноиндентирования проведены исследования морфологии поверхности и механических свойств покрытий AlCrN с различным содержанием Al. На поверхности покрытий наблюдается большое количество микрочастиц. Морфология покрытия изменяется с увеличением концентрации Al и увеличивается количество микрочастиц на поверхности. Модуль упругости Е и ...