Browsing Приборостроение-2021 by Author "Бринкевич, Д. И."

Now showing items 1-2 of 2

    • Особенности имплантации ионов Р+, В+ И Sb+ в пленки позитивного фоторезиста ФП9120 на кремнии 

      Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Черный, В. В. (БНТУ, 2021)
      Методом ИК-Фурье спектроскопии нарушенного полного внутреннего отражения (НПВО) исследованы пленки диазохинон-новолачного фоторезиста ФП9120 толщиной 1,8–5,0 мкм, имплантиро- ванные ионами B+, Р+ и Sb+ c энергией 60 кэВ в интервале доз 5*10^14–6*10^17 cм-2. Рассмотрены различные механизмы радиационно-индуцированной модификации структурных и оптических свойств пленок ДХН-резистов ...
      2022-02-02

    • Радионуклиды в сменных деталях коммерческих циклотронов 

      Бринкевич, Д. И.; Бумай, Ю. А.; Киевицкая, А. И.; Кийко, А. Н. (БНТУ, 2021)
      Исследовано накопление радионуклидов (РН) во входном окне водной мишени и стриппере «медицинского» 18-МэВ циклотрона Cyclone 18/9 HC для минимизации дозовых нагрузок персонала и определения условий хранения РАО. Доминирующими РН являются 57Ni, 56Co, 57Co, 58Co, 54Mn и 51Cr с периодом полураспада от 1 до 312 суток. Наибольшую активность (до 6 мЗв) имела Havar фольга входного окна мишени.
      2022-02-02