Ковалевский, В. Н. Особенности получения наноматериалов магнетронным распылением / В. Н. Ковалевский, Л. Ф. Керженцева, К. Б. Фигурин // Наука - образованию, производству, экономике : материалы Четвертой международной научно-технической конференции : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев, Ф. А. Романюк, А. С. Калиниченко. – Минск : ...