Show simple item record

dc.contributor.authorГусев, О. К.ru
dc.contributor.authorВоробей, Р. И.ru
dc.contributor.authorТявловский, К. Л.ru
dc.contributor.authorТявловский, А. К.ru
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2021-11-08T12:35:06Z
dc.date.available2021-11-08T12:35:06Z
dc.date.issued2007
dc.identifier.citationНеразрушающий контроль параметров пространственного распределения дефектов с характерными размерами более 50 нм в полупроводниковых пластинах / О. К. Гусев [и др.] // Наука - образованию, производству, экономике : материалы Пятой международной научно-технической конференции : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев, Ф. А. Романюк, А. С. Калиниченко. – Минск : БНТУ, 2007. – Т. 1. – С. 385-388.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/105841
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.titleНеразрушающий контроль параметров пространственного распределения дефектов с характерными размерами более 50 нм в полупроводниковых пластинахru
dc.typeWorking Paperru


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record