Высокоточные методы контроля выходных параметров полупроводниковых кремниевых пластин
| dc.contributor.author | Луговик, А. Ю. | ru |
| dc.contributor.author | Фёдорцев, Р. В. | ru |
| dc.contributor.author | Перепёлкина, Т. А. | ru |
| dc.contributor.author | Лосякина, Ю. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-10-29T07:56:07Z | |
| dc.date.available | 2021-10-29T07:56:07Z | |
| dc.date.issued | 2006 | |
| dc.identifier.citation | Высокоточные методы контроля выходных параметров полупроводниковых кремниевых пластин / А. Ю. Луговик [и др.] // Наука - образованию, производству, экономике : материалы Третьей международной научно-технической конференции : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев, Ф. А. Романюк, А. С. Калиниченко. – Минск : БНТУ, 2006. – Т. 1. – С. 269-272. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/105323 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Высокоточные методы контроля выходных параметров полупроводниковых кремниевых пластин | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
