Формирование системы вертикальных нанотрубок состава Si2,O2 в кремниевой пластине, посредством имплантации гелия и обработкой плазмой кислорода
| dc.contributor.author | Францкевич, Н. В. | ru |
| dc.contributor.author | Францкевич, А. В. | ru |
| dc.contributor.author | Шеденков, С. И. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-10-05T07:17:45Z | |
| dc.date.available | 2021-10-05T07:17:45Z | |
| dc.date.issued | 2009 | |
| dc.identifier.citation | Францкевич, Н. В. Формирование системы вертикальных нанотрубок состава Si2,O2 в кремниевой пластине, посредством имплантации гелия и обработкой плазмой кислорода / Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, С. И. Шеденков // Наука - образованию, производству, экономике : материалы Седьмой международной научно-технической конференции : в 3 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев, Ф. А. Романюк, А. С. Калиниченко. – Минск : БНТУ, 2009. – Т. 2. – С. 399. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/103313 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Формирование системы вертикальных нанотрубок состава Si2,O2 в кремниевой пластине, посредством имплантации гелия и обработкой плазмой кислорода | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
