Турыгина, А. А. Процесс изготовления микросхем фотолитографическим методом / А. А. Турыгина, В. О. Кузнечик // Приборостроение: 62-й научно-технической конференции студентов, магистрантов, аспирантов, преподавателей и научных работников приборостроительных специальностей (апрель - июнь 2006 г.) / редкол.: О. К. Гусев (гл. редактор), Р. В. Фёдорцев, В. И. Шамкалович [и др.]. – ...