Влияние технологических параметров процесса алмазной механической обработки (полирования) кремниевых пластин (О 100 мм) на производительность процесса и качество пластин / С. В. Якубовская [и др.] // Инновационные технологии, автоматизация и мехатроника в машино- и приборостроении : материалы международной научно-практической конференции; Минск, 11 апреля 2012 года. - Минск : ...