Структура пленок оксидов цинка на кремниевой подложке на основе термического испарения в атмосфере инертных газов / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, В. С. Бураков [и др.] // Приборостроение-2009 : материалы 2-й Международной научно-технической конференции, 11-13 ноября 2009 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – ...