Напряжение смещения на подложке как способ управления структурой поверхности износостойкого покрытия ZRN / А. В. Хабарова [и др.] // Новые направления развития приборостроения : материалы 16-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, Минск, 19-21 апреля 2023 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) ...