Боровский, А. C. Исследование процесса формирования слоя фоторезиста для СБИС на установке dns-80 / А. C. Боровский ; преп. Л. К. Лаврова // Сборник материалов Международной научно-практической конференции учащихся "Молодежь 21 века", 14 марта 2019 [Электронный ресурс] / редкол.: С. А. Квасюк [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 87-93.

Учебно-методическое пособие предназначено для самостоятельного и дистанционного изучения учебной дисциплины «Технология и оборудование литографических процессов» учащимися специальности 2-41 01 31 «Микроэлектроника». В учебно-методическом пособии представлен теоретический материал, а также материал, обеспечивающий контроль знаний для проведения самоконтроля и текущей аттестации.