Климко, В. В. Зависимость дефектности эпитаксиального слоя от способа его легирования / В. В. Климко, Л. И. Шадурская // Новые направления развития приборостроения : материалы 13-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 15−17 апреля 2020 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск ...