Реологические свойства водных суспензий ультрадисперсного диоксида кремния для полирования полупроводниковых материалов / С. В. Якубовская, А. А. Корбит, Е. П. Ходан, С. А. Артюх // Приборостроение-2012 : материалы 5-й Международной научно-технической конференции, 21–23 ноября 2012 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский ...