Browsing by Author "Янковский, Ю. Н."

Now showing items 21-23 of 23

    • Склерометрический метод измерения микротвердости пленок фоторезиста на кремнии 

      Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Гайшун, В. Е. (БНТУ, 2016)
      В последние годы интенсивно разрабатываются новые виды резистов для нано- и субмикронной литографии современной электроники. В качестве перспективных материалов для резистов рассматриваются различные полимерные композиции на основе термически и механически стойких полимеров. Целью настоящей работы являлось изучение возможности применения методов микроиндентирования и склерометрии ...
      2016-06-07

    • Трансформация спектров отражения пленок фоторезиста на кремнии при γ-облучении и ионной имплантации 

      Бумай, Ю. А.; Бринкевич, Д. И.; Харченко, А. А.; Лукашевич, М. Г.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н. (БНТУ, 2016)
      Трансформация спектров отражения пленок фоторезиста на кремнии при γ-облучении и ионной имплантации / Ю. А. Бумай [и др.] // Приборостроение-2016 : материалы 9-й международной научно-технической конференции, Минск, 23-25 ноября 2016 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2016. – С. 276-277.
      2017-03-27

    • Электрофизический метод контроля параметров автомобильных масел 

      Карпович, И. А.; Лебедев, В. И.; Молчанов, А. Г.; Солодуха, В. А.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Черный, В. В. (БНТУ, 2018)
      Электрофизический метод контроля параметров автомобильных масел / И. А. Карпович [и др.] // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 199-201.
      2019-04-23