Browsing by Author "Мацкевич, Э. П."
Now showing items 21-22 of 22
-
Увеличение коэффициента использования мишени путем смещения магнитных контуров цилиндрического магнетрона
Мацкевич, Э. П. (БНТУ, 2021)Мацкевич, Э. П. Увеличение коэффициента использования мишени путем смещения магнитных контуров цилиндрического магнетрона / Э. П. Мацкевич ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов (25-26 ноября 2021 г.) / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – ...2022-03-15 -
Цилиндрическая магнетронная распылительная система с увеличенной зоной распыления мишени
Мацкевич, Э. П. (БНТУ, 2022)В данной статье описывается цилинрическая магнетронная распылительная система для нанесения тонких пленок дисилицида молибдена.2022-10-21