Синтез оптоэлектронной системы установки контроля микроэлектронных структур
Loading...
Files
Authors
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Synthesis of optoelectronic system for control of microelectronic structures
Abstract
Совершенствование оборудования для контроля размеров и формы микроэлектронных структур на соответствие проектным данным и отсутствие привнесенных в него дефектов и загрязнений требует развития оптоэлектронных систем регистрации изображений структурных элементов. Синтез этих систем можно осуществлять с помощью метода, позволяющего установить обоснованность использования в ней источника излучения и определить основные функциональные параметры оптоэлектронной системы. Приведены результаты использования метода при разработке оптоэлектронной системы, работающей с разрешением 250 нм. Показано, что в контрольном оборудовании можно применять светодиоды вместо традиционно используемых галогенных и ртутно-ксеноновых ламп.
item.page.description-other
Description
Citation
Трапашко, Г. А. Синтез оптоэлектронной системы установки контроля микроэлектронных структур = Synthesis of optoelectronic system for control of microelectronic structures / Г. А. Трапашко // Наука и техника = Science & Technigue : международный научно-технический журнал. – 2014. – № 1. – С. 38 - 43.