Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Вабищевич, С. А."
Now showing items 1-1 of 1
-
Прочностные свойства и морфология поверхности структур фоторезист ФП9120 – кремний
Бринкевич, Д. И.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Черный, В. В. (БНТУ, 2014)Целью настоящей работы являлось исследование прочностных свойств пленок фоторезиста марки ФП9120 различной толщины, нанесенных на пластины кремния различных марок.2015-03-23