Прочностные свойства и морфология поверхности структур фоторезист ФП9120 – кремний
Bibliographic entry
Прочностные свойства и морфология поверхности структур фоторезист ФП9120 – кремний / Д. И. Бринкевич [и др.] // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 260-262.
Abstract
Целью настоящей работы являлось исследование прочностных свойств пленок фоторезиста марки ФП9120 различной толщины, нанесенных на пластины кремния различных марок.