Разработка аппаратно-программного комплекса визуализации пространственного распределения работы выхода электрона методом вибрирующего конденсатора

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-supervisor

Тявловский, А. К.

Date

2010

Publisher

БНТУ

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc

621.81

Another Title

Отчет о НИР (заключительный) :10-17

Bibliographic entry

Разработка аппаратно-программного комплекса визуализации пространственного распределения работы выхода электрона методом вибрирующего конденсатора: отчет о НИР (заключительный) : 10-17 / Белорусский национальный технический университет; рук.Тявловский А. К., исполн. Козлов Свистун А. И. [и др.]. – Минск, 2010. – 78 с. – Библиогр.: С. 76-78. - № ГР 20100491

Abstract

Объектом исследования являются аппаратные и программные средства сканирования прецизионных поверхностей и регистрации работы выхода электрона поверхности. Целью работы является разработка схемы, конструкции и программного обеспечения аппаратно-программного комплекса визуализации пространственного распределения работы выхода электрона методом вибрирующего конденсатора. Разработана схема и конструкция аппаратной части аппаратно-программного комплекса, алгоритмы основных и вспомогательных программ и собственно программное обеспечение. Проанализированы динамические характеристики и проведена экспериментальная оценка предельной разрешающей способности аппаратно-программного комплекса. Показана эффективность разработанного аппаратно-программного комплекса при контроле и диагностике полупроводниковых структур и прецизионных поверхностей, в том числе с диэлектрическими покрытиями.