Разработка аппаратно-программного комплекса визуализации пространственного распределения работы выхода электрона методом вибрирующего конденсатора
Loading...
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20100491
Abstract
Объектом исследования являются аппаратные и программные средства сканирования прецизионных поверхностей и регистрации работы выхода электрона поверхности. Целью работы является разработка схемы, конструкции и программного обеспечения аппаратно-программного комплекса визуализации пространственного распределения работы выхода электрона методом вибрирующего конденсатора. Разработана схема и конструкция аппаратной части аппаратно-программного комплекса, алгоритмы основных и вспомогательных программ и собственно программное обеспечение. Проанализированы динамические характеристики и проведена экспериментальная оценка предельной разрешающей способности аппаратно-программного комплекса. Показана эффективность разработанного аппаратно-программного комплекса при контроле и диагностике полупроводниковых структур и прецизионных поверхностей, в том числе с диэлектрическими покрытиями.
item.page.description-other
Description
Citation
Разработка аппаратно-программного комплекса визуализации пространственного распределения работы выхода электрона методом вибрирующего конденсатора: отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20100491 / Белорусский национальный технический университет ; рук. А. К. Тявловский ; исполн.: А. И. Свистун [и др.]. – Минск : [б. и.], 2010.