Browsing №4 by Author "Русецкий, В. А."
Now showing items 1-1 of 1
-
Технология изготовления фотошаблонов, основанная на оперативном моделировании параметризованных процессов фотолитографии
Русецкий, В. А. (БНТУ, 2013)Приводятся результаты разработки нового подхода к изготовлению оригиналов топологии на фотошаблонах, обеспечивающего возможность оперативной оценки фотолитографической значимости дефектов маски, обнаруженных в процессе контроля фотошаблонов на соответствие топологии, без выполнения операции проекционного переноса изображения с фотошаблона на полупроводниковую пластину. Данный ...2013-12-05