Show simple item record

dc.contributor.authorГурский, Н. Н.ru
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2024-04-22T11:48:28Z
dc.date.available2024-04-22T11:48:28Z
dc.date.issued2020
dc.identifier.citationГурский, Н. Н. Автоматизация технологического процесса отжига кремниевых пластин / Н. Н. Гурский // Инновационные технологии, автоматизация и мехатроника в машино- и приборостроении [Электронный ресурс] : материалы VIII международной научно-практической конференции (Минск, 19 марта 2020 года) : в рамках выставки «Автоматизация, электроника – 2020» / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.] ; сост. А. Н. Дербан. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 118.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/142066
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.titleАвтоматизация технологического процесса отжига кремниевых пластинru
dc.typeWorking Paperru


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record