Browsing by Author "Просолович, В. С."

Now showing items 21-29 of 29

    • Природа стабильных парамагнитных центров в имплантированных ионами Р+ и В+ пленках позитивного фоторезиста ФП9120 

      Бринкевич, Д. И.; Лапчук, Н. М.; Оджаев, В. Б.; Олешкевич, А. Н.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Черный, В. В. (БНТУ, 2019)
      Природа стабильных парамагнитных центров в имплантированных ионами Р+ и В+ пленках позитивного фоторезиста ФП9120 / Д. И. Бринкевич [и др.] // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 196-198.
      2020-01-03

    • Прочностные свойства и морфология поверхности структур фоторезист ФП9120 – кремний 

      Бринкевич, Д. И.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Черный, В. В. (БНТУ, 2014)
      Целью настоящей работы являлось исследование прочностных свойств пленок фоторезиста марки ФП9120 различной толщины, нанесенных на пластины кремния различных марок.
      2015-03-23

    • Прочностные свойства пленок диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120, имплантированных ионами серебра 

      Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Черный, В. В.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. (БНТУ, 2023)
      Методом микроиндентировния исследованы пленки позитивного диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120 толщиной 1,8 мкм, имплантированные ионами Ag+ c энергией 30 кэВ в интервале доз 2,5  1016–1,0  1017 cм–2 на имплантаторе ИЛУ-3. Сформированный при ионной имплантации Ag+ карбонизированный слой подавляет эффект восстановления отпечатка при индентировании. После длительного хранения ...
      2023-12-21

    • Релаксация упругих напряжений у поверхности позитивного фоторезиста при высокоэнергетичном воздействии 

      Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н.; Черный, В. В. (БНТУ, 2015)
      Релаксация упругих напряжений у поверхности позитивного фоторезиста при высокоэнергетичном воздействии / Д. И. Бринкевич [и др.] // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 13-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2015. - Т. 3. - С. 471-472.
      2016-05-04

    • Свойства слоев кремния, имплантированных аргоном 

      Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Черный, В. В. (БНТУ, 2017)
      Просолович, В. С. Свойства слоев кремния, имплантированных аргоном / В. С. Просолович, Ю. Н. Янковский, В. В. Черный // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 15-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2017. - Т. 3. - С. 474.
      2018-06-28

    • Склерометрический метод измерения микротвердости пленок фоторезиста на кремнии 

      Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Гайшун, В. Е. (БНТУ, 2016)
      В последние годы интенсивно разрабатываются новые виды резистов для нано- и субмикронной литографии современной электроники. В качестве перспективных материалов для резистов рассматриваются различные полимерные композиции на основе термически и механически стойких полимеров. Целью настоящей работы являлось изучение возможности применения методов микроиндентирования и склерометрии ...
      2016-06-07

    • Трансформация спектров отражения пленок фоторезиста на кремнии при γ-облучении и ионной имплантации 

      Бумай, Ю. А.; Бринкевич, Д. И.; Харченко, А. А.; Лукашевич, М. Г.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н. (БНТУ, 2016)
      Трансформация спектров отражения пленок фоторезиста на кремнии при γ-облучении и ионной имплантации / Ю. А. Бумай [и др.] // Приборостроение-2016 : материалы 9-й международной научно-технической конференции, Минск, 23-25 ноября 2016 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2016. – С. 276-277.
      2017-03-27

    • Электрофизический метод контроля параметров автомобильных масел 

      Карпович, И. А.; Лебедев, В. И.; Молчанов, А. Г.; Солодуха, В. А.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Черный, В. В. (БНТУ, 2018)
      Электрофизический метод контроля параметров автомобильных масел / И. А. Карпович [и др.] // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 199-201.
      2019-04-23

    • ЭПР диагностика электропроводящих слоев в пленках полиэтилентерефталата, облученных ионами фосфора и сурьмы 

      Оджаев, В. Б.; Олешкевич, А. Н.; Карпович, В. А.; Просолович, В. С.; Сернов, С. П.; Лапчук, Т. М.; Лапчук, Н. М. (БНТУ, 2017)
      ЭПР диагностика электропроводящих слоев в пленках полиэтилентерефталата, облученных ионами фосфора и сурьмы / В. Б. Оджаев [и др.] // Приборостроение - 2017 : материалы 10-й Международной научно-технической конференции, 1-3 ноября 2017 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. - Минск : БНТУ, 2017. - С. 296-298.
      2018-02-07