Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках - Захлебаева, А. И.; Реутская, О. Г.; Горох, Г. Г. (My University, 2016)
Разработана технология формирования газового сенсора и двухсенсорной газовой микросистемы на диэлектрических подложках из анодного оксида алюминия. Исследованы отклики изготовленной микросистемы к газам CO, C3H8 и NO2. Использование подложек из наноструктурированного оксида алюминия позволяет формировать газовые микросистемы на одном кристалле, сохраняя размеры одиночного сенсора, а также снизить потребляемую мощность и обеспечить долговременную работоспособность микросистем.