Цилиндрическая магнетронная распылительная система с увеличенной зоной распыления мишени
Loading...
Files
Authors
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Abstract
В данной статье описывается цилинрическая магнетронная распылительная система для нанесения тонких пленок дисилицида молибдена.
item.page.description-other
Description
Citation
Мацкевич, Э. П. Цилиндрическая магнетронная распылительная система с увеличенной зоной распыления мишени / Э. П. Мацкевич ; науч. рук.: В. М. Комаровская, О. И. Терещук // Инновационные технологии и образование : материалы международной научно-практической конференции (Минск, 28 апреля 2022 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – Ч. 2. – С. 371-373.