Проблемы контактного взаимодействия в микромеханике
Loading...
Files
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Problems of contact interaction in micromechanics
Abstract
В работе представлены диагностическое оборудование и оригинальные методики для количественной оценки данных факторов с использованием метода сканирующей зондовой микроскопии. Рассмотрены примеры использования предложенных подходов.
item.page.description-other
The paper presents diagnostic equipment and original methods for the quantitative assessment of these factors using the method of scanning probe microscopy. Examples of using the proposed approaches are considered. Key words: micromechanics, contact, microelectromechanical systems, scanning probe microscopy.
Description
Citation
Чижик, С. А. Проблемы контактного взаимодействия в микромеханике = Problems of contact interaction in micromechanics / С. А. Чижик, В. В. Чикунов, В. А. Лапицкая // Приборостроение-2022 : материалы 15-й Международной научно-технической конференции, 16-18 ноября 2022 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 9.